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半导体晶片的热处理办法
发布时间:2022-05-13 21:22:17 来源:环球体育app官方入口

  供给了一种半导体晶片热处理办法,选用该办法能够使被处理物即半导体晶片不破损地进行热处理.该办法在经过预热设备对半导体晶片进行到达预订温度的预热之后,再用由亮光放电灯构成的亮光辐射设备进行加热处理,其特征在于:选用预热设备进行加热,预热温度被加以操控,以运用亮光辐射设备加热时的半导体晶片的最大拉伸应力低于半导体晶片本身的拉伸极限强度.

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